伊謎提示您：看后求收藏（詩鼎小說網網www.gzstf.cn），接著再看更方便。

8、氣相外延爐

氣相外延爐設備功能：為氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境，實現在單晶上，生長與單晶晶相具有對應關系的薄層晶體，為單晶沉底實現功能化做基礎準備。氣相外延即化學氣相沉積的一種特殊工藝，其生長薄層的晶體結構是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對應的關系。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：美國cvd equipment公司、美國gt公司、法國soitec公司、法國as公司、美國proto flex公司、美國科特·萊思科（kurt j.lesker）公司、美國applied materials公司。

國內：中國電子科技集團第四十八所、青島賽瑞達、合肥科晶材料技術有限公司、北京金盛微納、濟南力冠電子科技有限公司。

9、分子束外延系統(tǒng)

此芯片生產設備功能：分子束外延系統(tǒng)，提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設備；分子束外延工藝，是一種制備單晶薄膜的技術，它是在適當的襯底與合適的條件下，沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：美國veeco公司、美國svtassociates公司、美國nbm公司、法國riber公司、芬蘭dca instruments公司、德國omicron公司、德國mbe-komponenten公司、英國oxford applied research（oar）公司。

國內：沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設備有限公司、沈陽科友真空技術有限公司。

10、氧化爐（vdf）

設備功能：提供要求的氧化氛圍，實現半導體預期設計的氧化處理過程，為半導體材料進行氧化處理，是半導體加工過程的不可缺少的一個環(huán)節(jié)。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：英國thermco公司、德國centrotherm thermal solutions gmbh co.kg公司。

國內：青島福潤德、北京七星華創(chuàng)、中國電子科技集團第四十八所、青島旭光儀表設備有限公司、中國電子科技集團第四十五所。

11、低壓化學氣相淀積系統(tǒng)

設備功能：把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入lpcvd設備的反應室，在襯底表面發(fā)生化學反應生成薄膜。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：日本日立國際電氣公司、

國內：中國電子科技集團第四十八所、上海馳艦半導體科技有限公司、中國電子科技集團第四十五所、北京儀器廠、上海機械廠。

12、等離子體增強化學氣相淀積系統(tǒng)

設備功能：在沉積室利用輝光放電，使其電離后在襯底上進行化學反應，沉積半導體薄膜材料。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：日本tokki公司、日本島津公司、美國proto flex公司、美國泛林半導體（lam research）公司、荷蘭asm國際公司。

國內：北京儀器廠、中國電子科技集團第四十五所、上海機械廠。

13、磁控濺射臺

芯片生產設備功能：通過二極濺射中一個平行于靶表面的封閉磁場，和靶表面上形成的正交電磁場，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域，實現高離子密度和高能量的電離，把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：美國vaportech公司、美國amat公司、美國pvd公司、荷蘭hauzer公司、英國teer公司、瑞士platit公司、瑞士balzers公司、德國cemecon公司。

國內：中國電子科技集團第四十八所、北京儀器廠、沈陽中科儀器、成都南光實業(yè)股份有限公司、科睿設備有限公司、上海機械廠。

14、化學機械拋光機

設備功能：通過機械研磨和化學液體溶解“腐蝕”的綜合作用，對被研磨體（半導體）進行研磨拋光。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：美國applied materials公司、美國諾發(fā)系統(tǒng)公司、美國rtec公司。

國內：蘭州蘭新高科技產業(yè)股份有限公司、愛立特微電子。

15、引線鍵合機

設備功能：把半導體芯片上的pad與管腳上的pad，用導電金屬線（金絲）鏈接起來。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：德國tpt公司、美國奧泰公司、奧地利奧地利fk公司、馬來西亞友尼森（unisem）公司。

國內：中國電子科技集團第四十五所、北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司、宇芯（成都）集成電路封裝測試有限公司（馬來西亞友尼森投資）、深圳市開玖自動化設備有限公司。

16、探針測試臺

芯片生產設備功能：通過探針與半導體器件的pad接觸，進行電學測試，檢測半導體的性能指標是否符合設計性能要求。

主要企業(yè)（品牌）：

國際：美國qa公司、美國microxact公司、德國ingun公司、韓國ecopia公司、韓國leeno公司。

國內：中國電子科技集團第四十五所、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、瑞柯儀器、華榮集團、深圳市森美協爾科技。